元素组成及化合态进行定性分析；

元素、元素化合态的定量分析；

样品表面元素分布测试；
样品深度元素分布测试。

主要应用于高分子聚合物、陶瓷、玻璃、薄膜、钢铁、金属、生物材料、半导体、微电子、薄膜、纳米技术等领域。

真控系统性能：5×10-10mbar

单色器最佳空间分辨率：≤20microns 

单色器最佳能量分辨率：：≤0.45eV
单色器（大面积）能量分辨率：：400000cps（FWHM≤0.50Ev 

1.样品避免污染（避免手、取样工具等接触测试面）

2.尺寸长宽 5~10mm,厚度小于5mm

3.样品不含腐蚀性物质

4.样品放射性物质

5.其它特性，是否有磁性等，需要说明

温馨提示：不同型号的设备对样品有不同的要求，样品测试申请者务必看清设备对样品的要求。